mems磁传感器由mems磁扭摆和检测差分电容构成,mems磁扭摆由双端固支梁的硅薄膜上制作conimnp永磁薄膜构成,器件原理结构如图 1 所示 tech.rfidworld.com.cn rfid世界网提供rfid技术,无线射频识别技术、rfid系统设计、rfid产品设计、读写器设计,rfid中间件设计等技术原理文章。 Category:computers electronics and technology Global Rank:1,375,918 visits:34.2K pages/Per:1.3 ADS